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該機台主要覆蓋邏輯領域多個技術節點中以AIO (雙大馬士革刻蝕工藝) 、北方华创 （文章來源 ：證券時報）
近日，发布北方華創正式發布新品——12英寸電容耦合等離子體介質刻蝕機Accura LX ，国产革並可擴展到存儲領域的英寸CMOS (互補金屬氧化物半導體)相關製程，適用於Low-K（低介電常數）介質及常規介質材料的马士刻蝕工藝
。Contact (接觸孔)為代表的刻蚀關鍵介質刻蝕製程 ，
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